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无尘车间在各行业中的温度标准

集成电路生产加工行业

在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，引起了0.24um线性膨胀，所以须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，合肥净化车间，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜**过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度**过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

无尘车间等级是如何划分的？

1、1000级：千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。      

2、10000级：万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，食品厂净化车间，某些情况下也用于食品饮料工业，十万级净化车间，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。      

3、300000级别：三十万级无尘车间级别较低，用于普通洁净区，如级别不高的走道。

无尘车间废气处理步骤

无尘车间又叫洁净室，无尘室净化车间，洁净室一般包括工业洁净室和生物洁净室，工业洁净室，特别是电子工业洁净室排放的废主要成份有：一般废气、热废气、**废气、酸碱废气、含磷等特殊废气、含粉尘的废气等，不**业、不同产品、其排放的废气的成份不同，但一定处理达到国家排放标准后方能排到室外。

1、一般生活用房、值班室、卫生间排出的一般废气可直接排到室外。

2、排放的**废气**标时必须经过**废气处理设备处理达标后再排放**废气，处理方法有活性炭吸附法、液体吸收法等。