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无尘车间在各行业中的温度标准

集成电路生产加工行业

在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，引起了0.24um线性膨胀，所以须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，实验室净化工程，对产品将有污染，无尘车间净化工程，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜**过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度**过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

从换气次数角度上来说，10万级无尘车间要求：

100000(10万)级要求每小时换气18-25次，完全换气后空气净化时间不**过40分钟。而1万级及千级换气次数多：10000(1万)级别要求每小时换气25-30次，完全换气后空气净化时间不**过30分钟。1000(1千)级别要求每小时换气40-60次，马鞍山净化工程，完全换气后空气净化时间不**过20分钟。在使用时，10万级无尘车间要求：落尘量检测每三个月委外检测并附检测结果至公司管理部存档;

 洁净车间中净化系统出现这种问题的原因就在于常年没有进行维修，加上运行中的震动等客观原因，导致净化系统的有些管道的接口**冷凝水盘的出水口，多余的液体不能正常的排出，净化系统机身内的湿度严重偏高，从而滋生大量细菌，手术室净化工程，在运行时会产生细菌、灰尘吸附等，导致净化机在产生新风时，机身内的细菌跟随新风一起进入手术室。合肥川财净化